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激光器来切割蓝宝石是当今LED制造业的标准加工

作者: 郑州百维 时间:2017-08-01 来源:百维激光
摘要:使用激光器来切割蓝宝石是当今LED制造业的标准加工方法,蓝宝石在这里用作基板衬底。由于其抗划伤性和透光性,蓝宝石会用来生产手表和光学仪器的保护镜面。...

   蓝宝石是地球上仅次于钻石第二坚硬的材料,很难使用机械的方法来加工。使用激光器来切割蓝宝石是当今LED制造业的标准加工方法,蓝宝石在这里用作基板衬底。由于其抗划伤性和透光性,蓝宝石会用来生产手表和光学仪器的保护镜面。

    当加工细小的轮廓时,超短脉冲激光器可以实现精准的加工。例如当切割圆形部件和钻微孔时,柔性的轮廓加工可以通过高速扫描器来实现。超短脉冲除去了加工时的热影响,从而产生极好的切割边缘质量。图 6 显示了 0.4 毫米厚的圆形、 正方形和三角形轮廓,使用 TruMicro 5070 红外皮秒激光切从蓝宝石上切割下来。最小轮廓尺寸是0.2毫米。与超短脉冲相结合的智能加工方式可以避免形成缺口及开裂。经验表明100微焦左右的脉冲能量是最佳的。例如,将脉冲能量为250微焦的激光光束分成两个125 微焦的独立激光光束同时加工两个零部件就可以获得更高的产量。卓越的加工质量取决于加工方法、 除尘和工件夹具之间的适宜的配合。

  红外和绿光波长的超短脉冲激光器正好可用于这种材料的加工。皮秒脉冲能减少裂缝的产生,切割质量远远超过普通的铣削加工。激光光束多次扫过被加工材料来实现切割。速度,边缘质量和边缘的角度可以由加工策略来决定。相对于其他的激光工艺,烧蚀工艺更稳妥:例如,轻微变形的玻璃并不影响加工结果。在测试中,使用绿光皮秒激光器,"Corning Eagle XG"的弯曲强度达280兆帕。使用红外皮秒激光器的测试结果表明速度增加三倍,边缘的弯曲强度略低。

    更强大的皮秒激光器使我们有更大的机会来提高加工玻璃的效率。我们比较钢材和玻璃的烧蚀速度以及加工效率时这种机会尤为明显。(图5)由于等离子体屏蔽的原因,钢材的烧蚀效率在5 J/cm2的脉冲能量密度时开始降低,而玻璃允许更高的脉冲能量密度,直到加工效率达到最高。因此当加工玻璃时,更高的脉冲能量可以转化为更高的烧蚀效率。

    当考虑进一步降低玻璃的重量和厚度时,人们可能会使用超薄玻璃。50微米厚的玻璃处理起来更微妙,对于机械加工也更敏感。事实上,这样的玻璃不用激光来加工已经是不可能了。

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